��������ԭ���������ϸ�������ǵ���ҪӦ������【Return】
���������������ԭ��ԭ����ڳ��������£�ʹҺ���еĹ��������������֯�����飬���ֹ��̽г������顣����������Ҫ�� ���ó������ڽ����д����ij����ջ�ЧӦ����е���ø��϶�ʵ�ֵġ�
��Ҫ����Ϊ������Һ������д���ʱ�����ڲ�����������������ѹ�����ڽ����в����ܶ��ǻ�� ��Щ��ǻ���ĸ�Ƶѹ���仯�����͡���ը�����ǻ��ըʱ����˲ʱѹ���ɴﵽ��ǧ���������������ѹ����˴�ij�����������ǻ�ֲ���ըʱ�ܰ���Χ������ �������顣
��һ���棬���ڳ�������Һ���д���ʱ�������ҵ������ã�ʹ���ʲ��������˶����Ӷ����ײ�����������ײ�����顣
1.��������ȡ��������(��������ѧ�ϳɷ�)��������ѧ��Ӧ�У���ؼ����õ��������Ŀջ�ЧӦ���ڳ������ķ��չ����У���Һ���ォ�����ջ����ݵ��γɣ�����ͱ��𣬵��ջ����ݱ���ʱ����һ�������ŵ�ǿѹ�����壬���������ص����ʣ���������ߴ� 5000K�ĸ��£�����200Mpa��ѹ�����Լ��ߴ�1010K/p�Ľ����ٶȣ�����dz�������ѧ�ϳɵ�������Դ��Kcap��Okitso�Ƚ�0.5um��oAl1/O3��ĩ���뵽PdLN.2N3Cl.3H20��Һ�У��ټ���һ�ֶ�Pd2����ԭ��ٽ����õĹ��࣬Ȼ���� 20Khz�ij��������գ���Al2O2����ϳɳ�10nm���ҵ�Pd�������ӡ�
����2.��������ҩ
(1) ע����ҽҩ���ʵķ�ɢ——����֬���뵨�̴�������ʵ�������ҩ������ˮ��Һ�У���������ɢ�����Եõ���С����(0.1um����)������ע�䡣
(2) ��ҩ��ȡ——���ó�����ɢ�ƻ�ֲ����֯�������ܼ�����֯���ã�����в�ҩ��Ч�ɷ���ȡ�ʡ��������Ƥ��ȫ���������һ�㷽���ֳ���5Сʱ���ϣ����ó�����ɢֻҪ��Сʱ�������ҽ`ѧ�������Ѽ������
(3) �Ʊ�������——�ڳ����ջ���ǿ�ҽ����£���һ�ֹ���ҩ���ɢ�ں��б�����Լ���ˮ��Һ�У������γ�1um���ҿڷ�����ע�����������“��עϲ���������”“������Ӱ��”��“���ᱵ������”��
(4) �Ʊ�����——��ϸ���������ڳ�����ɢ����ɱ���Ժ������ʵ������Ƴ����硣